Busch: Überwachung und Steuerung von Vakuumprozessen

19.05.2022

Die drei Produktreihen (v. l.) Vactest Digitaltransmitter, Analogtransmitter und Mobile Messgeräte. (Foto: Busch)

Die drei Produktreihen (v. l.) Vactest Digitaltransmitter, Analogtransmitter und Mobile Messgeräte. (Foto: Busch)

Die exakte Einhaltung von Drücken in vakuumunterstützen Prozessen ist ein wichtiger Parameter für deren Effizienz. Busch Vacuum Solutions, Maulburg, hält mit den Vakuummessgeräten Vactest ein umfangreiches Portfolio an aktiven Vakuummessgeräten und Controllern bereit, so dass die Messtechnik auf den jeweiligen Prozess abgestimmt werden kann.

Die robusten und zuverlässigen Geräte erlauben einen großen Messbereich von 1.600 bis 5 · 10^-10 mbar, womit alle Vakuumniveaus abgedeckt werden. Alle Sensoren erfüllen internationale Normen und Bestimmungen wie CE und RoHS.

Verschiedene Sensortechnologien der Vactest-Serie decken den ganzen Bereich zwischen Grobvakuum und Ultrahochvakuum ab. Grundsätzlich können sie in die zwei Hauptkategorien direkte und indirekte Druckmessung unterteilt werden. Das direkte Messprinzip ist unabhängig vom Prozessgas und basiert auf dem Druck, den der Molekülfluss auf eine Membran ausübt. Diese Methode wird hauptsächlich für Grob- und Feinvakuumprozesse verwendet. Bei einem höheren Vakuumniveau werden indirekte Messprinzipien verwendet, die auf speziellen Eigenschaften des Prozessgases wie Wärmeleitfähigkeit oder Ionisationswahrscheinlichkeit basieren. Im Gegensatz zur direkten Messmethode hängen diese Prinzipien von der Art des Prozessgases ab. Aus diesem Grund muss für jedes Prozessgas außer Luft oder Stickstoff ein spezifischer Korrekturfaktor angewendet werden.

Bei der Auswahl des richtigen Sensors sind mehrere Faktoren zu berücksichtige. Neben den Prozess- und Umgebungsbedingungen spielen vor allem der Druckbereich, die erforderliche Genauigkeit sowie die Gaszusammensetzung eine wichtige Rolle. Mit drei Produktlinien erfüllt Busch Vactest alle Anforderungen an Genauigkeit, Messbereich und Funktion eines jeden Vakuumsystems oder -prozesses.

Die Digitaltransmitter sind High-End-Messgeräte, die standardmäßig über zahlreiche Optionen verfügen. Ihre intelligente Mikrocontroller-Architektur bietet eine präzise Sensorsteuerung sowie zahlreiche Einstellmöglichkeiten. Die Digitaltransmitter basieren auf der Pirani-Sensortechnologie oder den Kombinationen Pirani/Kaltkathode oder Pirani/Heißkathode.

Die Analogtransmitter haben ein kompaktes, robustes und funktionales Design. Dank ihrer Messgenauigkeit und -stabilität sind sie eine geeignete Lösung für zentralisierte Überwachungs- und Steuerungssysteme.

Die mobilen Messgeräte sind eine Handheld-Lösung zur Qualitätssicherung bei Wartung und Vakuumprozessen. Diese batteriebetriebenen Geräte bieten zahlreiche Funktionen, wie eine USB-Schnittstelle für Export und Anzeige von Daten, sowie einen Datenlogger und können selbst im Vakuum verwendet werden. Diese Messgeräte können beispielsweise in einer Vakuumverpackung eingeschweißt werden, um den Druck in der Verpackung zu messen.

Die Active Sensor Controller runden als kompakte Steuereinheit für den gleichzeitigen Betrieb von mehreren Vakuummessgeräten die Produktserie ab. Sie eignen sich sowohl für die Nutzung als Desktopgerät als auch für die Rahmenmontage. Die Nutzerführung ist intuitiv und gewährleistet vollständige Kontrolle über jeden Transmitter. Parameter wie der Gaskorrekturfaktor, Druckeinheiten, Sollwerte und weitere nützliche Funktionen sind einfach einstellbar.

Ergänzend zu den Messgeräten gibt es mit dem Vactest Viewer eine Bluetooth-Überwachungsanwendung für Mobilgeräte mit Android-Betriebssystem, mit der die Druckwerte von bis zu 16 verbundenen Sensoren angezeigt werden können. Das Tool wurde für den Bluetooth-Datenaustausch zwischen Software und Sensor konzipiert und eignet sich für Wartungs- oder Kalibrierungszwecke. Es können visuelle und akustische Warnmeldungen für maximale und minimale Druckwerte voreingestellt werden.

www.buschvacuum.com

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